真空探針熱臺(tái)可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試(4.2K~500K),可升級(jí)加載磁場(chǎng),低溫防輻射屏設(shè)計(jì),樣品臺(tái)采用高純度無氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測(cè)溫裝置,支持光纖光譜特性測(cè)試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng),器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz),探針熱沉設(shè)計(jì),LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試,自動(dòng)流量控制,材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。
真空探針熱臺(tái)關(guān)機(jī)操作:
?。?)所有圓片測(cè)試完畢后,載片吸盤上沒有圓片且已回到右下角上料位置,此時(shí)可以關(guān)機(jī)。
?。?)關(guān)閉顯微鏡照明燈開關(guān)。
?。?)關(guān)閉自動(dòng)探針臺(tái)電源模塊上的主機(jī)電源。
?。?)關(guān)閉自動(dòng)探針臺(tái)總電源(即電源插座開關(guān)),確認(rèn)散熱風(fēng)扇處于停止?fàn)顟B(tài)。
?。?)關(guān)閉真空閥(順時(shí)針為關(guān))。
?。?)關(guān)閉壓縮空氣閥(順時(shí)針為關(guān))。
真空探針熱臺(tái)安全注意事項(xiàng):
(1)在沒有真空或壓縮空氣(或壓力不足)的情況下嚴(yán)禁開機(jī)測(cè)試。
?。?)為了保護(hù)設(shè)備,開機(jī)時(shí)必須先開真空和壓縮空氣閥,再開自動(dòng)探針臺(tái)電源模塊上的主機(jī)電源;關(guān)機(jī)時(shí)必須先關(guān)自動(dòng)探針臺(tái)電源模塊上的主機(jī)電源,再關(guān)真空和壓縮空氣閥。
(3)打開自動(dòng)探針臺(tái)電源模塊上的主機(jī)電源之前,必須確認(rèn)散熱風(fēng)扇處于轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài),不正常工作可能會(huì)燒壞主機(jī)電源。
?。?)設(shè)備正常測(cè)試時(shí)嚴(yán)禁打開設(shè)備上的參數(shù)設(shè)置面板和操作控制面板。