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產(chǎn)品中心

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低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

低溫真空探針臺(tái) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導(dǎo)、電子學(xué)、物理學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域。為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性,系統(tǒng)還可以提供3.2K的溫度擴(kuò)展選件、振動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵機(jī)組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:6109
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品牌鄭科探

  低溫真空探針臺(tái)是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導(dǎo)材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測(cè)試條件下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測(cè)量平臺(tái)??梢詫?duì)材料或器件進(jìn)行電學(xué)特性測(cè)量、光電特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、高阻測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和微波特性測(cè)量,

    低溫真空探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導(dǎo)、電子學(xué)、物理學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域。為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性,系統(tǒng)還可以提供3.2K的溫度擴(kuò)展選件、振動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵機(jī)組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

   KT-Z1604T探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

     該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面,臺(tái)面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng),三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開(kāi)啟

鉸鏈側(cè)開(kāi)

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

35-350

加熱臺(tái)溫控誤差

±1

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類(lèi)別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

8

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



 

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